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旋轉(zhuǎn)接頭在半導體行業(yè)中的應(yīng)用

發(fā)布時間:2023.10.25
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  半導體業(yè)如此巨大的市場,半導體工藝設(shè)備為半導體大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ)。而旋轉(zhuǎn)接頭在半導體生產(chǎn)過程中起到重要的作用,它將流體介質(zhì)輸送管道與旋轉(zhuǎn),往復(fù)運動或擺(轉(zhuǎn))動某角度的設(shè)備相連接,既保證連續(xù)不斷向運轉(zhuǎn)的設(shè)備、管道傳遞流體、氣體,又要防止流體介質(zhì)相互串通、泄漏和外界雜物進入工作介質(zhì),旋轉(zhuǎn)接頭是半導體設(shè)備上的非功能部件,但是其作用,對整臺機器的設(shè)備,甚至整個工廠的影響都很大。

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   旋轉(zhuǎn)接頭的高精度和緊湊型旋轉(zhuǎn)接頭專為潔凈室環(huán)境而設(shè)計,為各種半導體制造裝置,化學機械拋光、去離子水、物理氣相沉積、晶圓處理、半導體制造機器人等設(shè)備提供可靠的流體傳輸解決方案。 能夠處理磨蝕性和腐蝕性介質(zhì)的專業(yè)密封技術(shù)以及廣泛的溫度范圍可確保較長的使用壽命,減少設(shè)備停機時間。江蘇貝內(nèi)克旋轉(zhuǎn)接頭的高性能、專業(yè)流體密封解決方案在硅片的自動化制造中發(fā)揮著不可或缺的作用。 我們經(jīng)驗豐富的工程師團隊直接與您合作開發(fā)解決方案,旨在滿足您的應(yīng)用對性能、成本和交付的確切要求。